电子束焊设备的真空检漏
发布日期: [2016/8/16]  共阅读 [] 次
当真空系统发现存在漏孔时,需要寻找漏孔的部位,这就需要进行检漏,检漏的方法很多,它们的原理,使用条件和范围也各不相同,很难把它们严格地加以分类,现根据被检容器所处的状态分为两大类:

  1、加压法。在被检容器内充入一定压力的试验气体,当容器壁上有漏孔时,试验气体便从漏孔逸出,我们只要用适当的指示方法查明有无气体逸出,就能确定哪里有漏孔和漏气量的大小。属于这类方法的有气压法、火焰法、氨检漏法以及氦质谱检漏仪加压法等。

  2、抽空法。将被检容器内部抽空后,再把试验气体喷吹或涂抹于容器外壁可疑处,如有漏孔,则试验气体便从漏孔进入容器,同时用相应的指示方法将试验气体查出来,便可判断出漏孔的位置和漏气量的大小。属于这类方法的有静压升压法、火花检漏仪、氦质谱仪、放电管法、真空计法等。

  采用什么方法进行检漏,这要取决于对真空系统的要求来进行选择,一般应原则上满足下面几方面要求:

  1、检漏灵敏度高,即选用检漏灵敏度值比允许漏气量小1~2个数量级的检漏方法;

  2、反应时间短,可提高检漏速度;

  3、性能稳定;

  4、应用范围广,即该方法能检查出漏孔大小的范围较广;

  5、结构简单,使用方便